XYZT Gantry Motion Stage kiekkojen tarkastusta varten
Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd., joka sijaitsee Wuzhongin alueella Suzhoun kaupungissa, Jiangsun maakunnassa, on johtava korkean tarkkuuden XYZT Gantry Motion Stage -levyjen valmistaja kiekkojen tarkastussovelluksiin. Yli 18 vuoden tarkkuuskoneistuksen ja liikkeenohjauksen asiantuntemuksellamme olemme erikoistuneet valmistamaan räätälöityjä 4-akselisia (X/Y/Z/Theta) portaalipaikannusjärjestelmiä, jotka tarjoavat alle mikronin tarkkuuden 200 mm, 300 mm ja 450 mm kiekkojen tarkastuslaitteille.
XYZT Gantry Motion Stage for Wafer Inspection yhdistää erittäin jäykät graniittipohjat, ilmalaakeriohjaimet, lineaarimoottorikäytöt ja tarkkuusoptiset kooderit saavuttaakseen ±1 µm:n paikannustarkkuuden ja ±0,1 µm:n toistettavuuden. Suunniteltu 24/7-käyttöön puhdastilaympäristöissä (luokka 100 / luokka 10), portaalivaiheissamme on erittäin alhainen tärinä, korkea dynaaminen vaste (maksiminopeus 500 mm/s) ja lämpöstabiilisuus varmistaakseen luotettavan kiekkojen vikojen havaitsemisen ja mittametrologian koko tuotannon elinkaaren ajan.
● Mukautettu XYZT Gantry Motion Stage kiekkojen tarkastusta varten, joka on suunniteltu kiekkojen tarkastuslaitteiden teknisten tietojen ja CAD-piirustusten mukaan
● ±1 µm paikannustarkkuus nanometritason toistettavuudella (±0,1 µm) kriittisissä kiekomittauksissa
● Ilmalaakeritekniikka kitkattoman liikkeen ja nollahiukkasten syntymiseen puhdastilaympäristöissä
● Lämpöstabiloitu muotoilu ja aktiivinen lämpötilan säätö (±0,01°C) takaavat erittäin suuren tarkkuuden
● ISO 9001:2015 -sertifioitu valmistus ja täydellinen jäljitettävyys puolijohdeteollisuuden vaatimustenmukaisuuteen
Tärkeimmät ominaisuudet ja keskeiset edut
Erittäin jäykkä mekaaninen muotoilu
XYZT Gantry Motion Stage for Wafer Inspection sisältää monoliittiset graniittipohjat (lämpölaajenemiskerroin < 0,5 × 10⁻⁶/°C) ja hiilikuituvahvisteisia polymeeripalkkeja (CFRP), jotka takaavat poikkeuksellisen rakenteellisen jäykkyyden ja minimaalisen lämpömuodonmuutoksen. Symmetrinen portaalirakenne eliminoi Abbe-virheen ja varmistaa tasaisen kuorman jakautumisen koko kiekkojen tarkastusalueella.
Precision Motion Control System
Integroituina tehokkaisiin lineaarimoottorikäyttöihin (nolla välys, suuri kiihtyvyys) ja absoluuttisiin optisiin koodereihin (1nm:n resoluutio), XYZT-pukkiportaalimme tarjoavat tasaisen, tarkan liikkeen alle mikronin tarkkuudella. Edistyksellinen servo-ohjausalgoritmi kompensoi dynaamiset virheet ja varmistaa nanometritason paikannusvakauden kiekkojen skannaustoimintojen aikana.
Puhdastilavalmis muotoilu
Jokainen XYZT Gantry Motion Stage kiekkojen tarkastukseen on suunniteltu luokan 100/luokan 10 puhdastilakäyttöön tyhjiön kanssa yhteensopivilla komponenteilla, suljetuilla lineaarisilla ohjaimilla ja vähän kaasua aiheuttavilla materiaaleilla (yhteensopiva standardin SEMI S2-0701 kanssa). Ilmalaakeritekniikka eliminoi hiukkasten muodostumisen, kun taas suljettu kaapelinhallintajärjestelmä estää saastumisen nopeiden kiekkojen tarkastusjaksojen aikana.
Tekniset tiedot
|
XYZT Gantry Stage -malli |
Matka-alue (X/Y/Z/Theta) |
Suorituskykyvaatimukset |
|
DT-WI200 (200 mm kiekko) |
300×300×50mm / ±3° |
Tarkkuus ±1 µm, toistettavuus ±0,1 µm, nopeus 500 mm/s, kiihtyvyys 5 m/s² |
|
DT-WI300 (300 mm kiekko) |
400×400×75mm / ±3° |
tarkkuus ±1,5 µm, toistettavuus ±0,2 µm, nopeus 400 mm/s, kiihtyvyys 4 m/s² |
|
DT-WI450 (450 mm kiekko) |
500×500×100mm / ±3° |
Tarkkuus ±2 µm, toistettavuus ±0,3 µm, nopeus 300 mm/s, kiihtyvyys 3 m/s² |
|
DT-WI-Custom (muokattu) |
Mukautettu vaatimusten mukaan |
Räätälöity tarkkuus/toistettavuus, mukautettu nopeus/kiihtyvyys, erikoistunut puhdastilaluokitus |
Mekaaniset tiedot
Pohjamateriaali: Musta graniitti (00ºC) / CFRP-komposiitti
Ohjausjärjestelmä: Tarkkuusilmalaakerit / lineaariset rullaohjaimet
Voimajärjestelmä: Harjattomat lineaarimoottorit / servomoottorit kuularuuveilla
Palaute: Absoluuttiset optiset kooderit (1nm resoluutio)
Ympäristövaatimukset
● Käyttölämpötila: 20±0,5°C (aktiivinen lämmönsäätö)
● Puhdastilaluokitus: luokka 100 (ISO-luokka 5) / luokka 10 (ISO-luokka 4)
● Tärinänvaimennus: Aktiivinen/passiivinen tärinänhallintajärjestelmä
● Virtalähde: 200-240 V AC, 50/60 Hz, 1-vaihe/3-vaihe
Sovellukset
● 200 mm/300/450 mm kiekkojen nopea skannaus hiukkas- ja kuviovirheiden varalta
● Nanometritason paikannus optisille/mikroskooppisille vianilmaisujärjestelmille
● Dynaaminen tasaisuuden kompensointi vääntyneiden kiekkojen tarkastukseen
● Integrointi laserskannaus- ja elektronimikroskopian tarkastustyökaluihin
Kiekkometrologia
Kiekkoulotteinen metrologia
● Kiekon paksuuden, kaaren ja loimiparametrien tarkkuusmittaus
● Sub-mikronin tason kohdistus overlay-metrologiajärjestelmille
● Lämpöstabiloitu paikannus lämpötilaherkkää metrologiaa varten
● Automatisoitu in-line metrologia kiekkojen valmistusprosesseihin
Kiekkojen käsittely
Kiekkojen käsittely ja käsittely
● Erittäin tarkka kohdistus kiekkolitografia- ja etsausprosesseja varten
● Puhdastila-yhteensopivat kiekkojen käsittely- ja siirtojärjestelmät
● Dynaaminen paikannus laserkuutioille ja kiekkojen ohennuksille
● Integrointi robottikiekkojen käsittely- ja automaatiojärjestelmiin
Hot Tags: Kiina XYZT Gantry Motion Stage kiekkojen tarkastusta varten valmistaja, toimittaja, tehdas
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Yhteystiedot
-
Osoite
Building 5, Yuewang Entrepreneurship Park, No. 2011 Tian'e Dang Road, Hengjing Street, Wuzhongin talouskehitysalue, Suzhou, Jiangsun maakunta, Kiina
-
Puh
-
Sähköposti
Etsitkö edullista tukkuhintaa? Lähetä piirustuksesi tai näytteesi Deaotelle nyt. Ammattitaitoinen tiimimme tarjoaa nopeaa palautetta ja laadukkaita tehdassuorat tarjoukset.
