Kiekkojen testaus

Deaoten yli 15 vuoden tarkkuusmuottien ja liikekomponenttien valmistuksen asiantuntemukseen perustuva kiekkotestaus sisältää jäykän graniittipohjan, lämpöstabiloidun rakenteen ja tärinänvaimennusrakenteen, joka varmistaa tasaisen suorituskyvyn puhdastilaympäristöissä (luokka 100/1000). Se tukee saumatonta integrointia kiekkojen koettimien, optisten mikroskooppien, ATE (Automatic Test Equipment) -järjestelmien ja tiedonkeruutyökalujen kanssa, mikä tekee siitä ihanteellisen sekä logiikkasirujen, muistilaitteiden, tehopuolijohteiden ja yhdistepuolijohteiden (GaAs, SiC, GaN) T&K:n ja suurten tuotantomäärien testaamiseen.

Kiekkojen testauksen modulaarinen rakenne mahdollistaa matka-alueiden, nopeus-/kiihtyvyysparametrien ja ohjausliitäntöjen (GPIB, USB, Ethernet) täyden mukauttamisen vastaamaan tiettyjä kiekkojen testauksen työnkulkuja. Ratkaisumme avulla puolijohdevalmistajat voivat saavuttaa korkeamman testaustarkkuuden, vähentää virheellisten virheiden määrää ja parantaa suorituskykyä – kriittistä seuraavan sukupolven puolijohdelaitteiden miniatyrisointi- ja suorituskykyvaatimusten täyttämiseen.

Keskeiset edut

1. Sub-Micron 4-akselinen kohdistustarkkuus

Korkearesoluutioisilla lineaarisilla koodereilla (resoluutio 0,05 μm) ja suoravetoisilla Theta-akselin vääntömomenttimoottoreilla varustettu alusta saavuttaa ±0,5 μm:n toistuvan paikannustarkkuuden (X/Y), ±1 μm:n absoluuttisen tarkkuuden (X/Y), ±2 μm Z-akselin asemointitarkkuuden, 1°:n accura. Tämä varmistaa tarkan kohdistuksen kiekkojen suulakkeiden ja testiantureiden/tarkastusoptiikan välillä, mikä eliminoi kohdistusvirheiden aiheuttamat virheet sähköisessä karakterisoinnissa ja optisessa tarkastuksessa.

2. Nopea ja vakaa liikeohjaus

Optimoidut liikkeenohjausalgoritmit ja ilmalaakeroidut ohjaimet mahdollistavat nopean liikkeen (X/Y maksiminopeus: 150 mm/s, Z-akselin maksiminopeus: 50 mm/s) erittäin lyhyellä asettumisajalla (≤30 ms X/Y:lle, ≤50 ms Z:lle). Kosketukseton käyttömekanismi eliminoi mekaanisen kulumisen ja välyksen, mikä varmistaa tasaisen liikkeen vakauden miljoonien syklien aikana – mikä on välttämätöntä korkean suorituskyvyn kiekkojen testauksessa (jopa 2500 kuoppaa tunnissa).

3. Lämpöstabiili ja tärinää estävä muotoilu

Valmistettu luonnollisesta graniittipohjasta (lämpölaajenemiskerroin ≤0,5 × 10⁻⁶/℃) ja aktiivisesta tärinänvaimennusjärjestelmästä, mikä minimoi lämpötilanvaihteluista (≤0,1 μm/℃) ja ulkoisista tärinöistä johtuvan paikan poikkeaman. Z-akselissa on tarkkuus kuularuuvikäyttö, jossa on esijännityksen kompensointi, joka säilyttää vakauden pystyasennossa, mikä on kriittinen anturin kosketusvoiman ohjauksessa (0,1 g - 100 g) kiekkojen testauksessa.

4. Wide Wafer yhteensopivuus ja joustavuus

Kiekkojen testaus tukee kiekkokokoja 4 tuumasta 12 tuumaan säädettävillä tyhjiöistukkailla ja automaattisilla keskitysmekanismeilla, eikä mukautettuja kiinnikkeitä tarvitse vaihtaa. Se kestää kiekkojen paksuutta 50 μm - 800 μm ja on yhteensopiva paljaiden kiekkojen, kuvioitujen kiekkojen ja kiekkotason pakettien (WLP) kanssa, mukautuen erilaisiin puolijohteiden testaustarpeisiin (DC-parametrinen testaus, RF-testaus, optinen tarkastus).

5. Puhdastila-yhteensopiva ja vähän huoltoa vaativa

Luokan 100 puhdastilakäyttöön suunniteltu kiekkotestaus sisältää suljetun kotelon HEPA-suodatuksella, joka estää kiekkojen ja testilaitteiden hiukkaskontaminaation. IP54-suojausluokka ja voitelemattomat ilmalaakeroidut komponentit vähentävät huoltotarvetta ja pidentävät MTBF:n (Mean Time Between Failures) ≥35 000 tuntiin normaaleissa käyttöolosuhteissa.

6. Helppo integrointi ja mukauttaminen

Yhteensopiva alan standardien ohjausohjelmistojen ja tietoliikenneprotokollien (GPIB, RS232, Ethernet/IP) kanssa, alusta integroituu saumattomasti olemassa oleviin kiekkojen testausjärjestelmiin. Suzhou Deoute tarjoaa täyden räätälöinnin matka-alueille (X/Y: 100 × 100 mm - 300 × 300 mm; Z: 50 mm - 150 mm), Theta-akselin kiertoalueen (±5° - ±10°) ja istukan lämpötilan säädön (-40 ℃ - 200 ℃) vastaamaan ainutlaatuisia asiakkaiden tarpeita.

Tekniset tiedot

Sovellusskenaariot

XYZT-alustamme on suunniteltu 4-akselisten kiekkojen testaukseen ja tarkastamiseen, ja sitä käytetään laajalti seuraavissa puolijohdesovelluksissa:

● Wafer Probing: Logiikkasirujen, DRAM/NAND-muistilaitteiden ja tehopuolijohteiden (MOSFET, IGBT) sähköinen karakterisointi (DC/AC/RF)

● Optinen tarkastus: kiekkotason vikojen havaitseminen, kuvioiden kohdistus ja metrologia edistyneeseen puolijohteiden valmistukseen

● Luotettavuustestaus: Yhdistelmäpuolijohteiden (GaAs, SiC, GaN) korkean/matalan lämpötilan jaksotus, sisäänpalamistestaus ja käyttöiän karakterisointi

● Wafer-Level Packaging (WLP): kiekkotason pakkausten kohdistus ja liimaus kulutuselektroniikan ja autoteollisuuden sovelluksiin

● T&K-testaus: Uusien puolijohdemallien prototyyppi ja validointi laboratorioympäristöissä (muokattavissa pienten erien testausta varten)

Tietoja Deaotesta

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. on johtava korkean teknologian yritys, joka on erikoistunut tarkkuusliikealustojen, räätälöityjen muottien ja puolijohteiden testauskomponenttien tutkimukseen ja kehitykseen, valmistukseen ja myyntiin. Yli 15 vuoden tarkkuusvalmistuksen kokemuksella palvelemme maailmanlaajuisia asiakkaita puolijohde-, elektroniikka- ja teollisuusautomaatiosektorilla Euroopassa, Pohjois-Amerikassa, Aasiassa ja muualla.

XYZT-tarkastusliikealustamme hyödyntää ydinosaamisemme tarkkuusmuottien suunnittelussa ja liikkeenohjaustekniikassa vastatakseen puolijohdekiekkojen testauksen ainutlaatuisiin haasteisiin. Tarjoamme kokonaisvaltaisia ​​ratkaisuja – mukautetun alustan suunnittelusta ja prototyyppien valmistuksesta paikan päällä tapahtuvaan asennukseen, kalibrointiin ja elinikäiseen tekniseen tukeen – varmistaaksemme, että tuotteemme täyttävät alan tiukimmatkin tarkkuutta ja luotettavuutta koskevat standardit.

Sitoutunut "Precision Drives Progress, Innovation Creates Value" -ohjelmaan Deaote on ISO 9001:2015 -sertifioitu ja sijoittaa 15 % vuotuisista liikevaihdostaan ​​T&K-toimintaan kehittääkseen seuraavan sukupolven liikeratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Maailmanlaajuinen palveluverkostomme varmistaa nopeat vasteajat ja paikallisen tuen kansainvälisille asiakkaillemme.