Kaksiakselinen marmorinen lineaarinen moottorimoduuli

Tämä kaksiakselinen marmorinen lineaarimoottorimoduuli on rakennettu 00-asteen graniittipohjalle (valittu sen alhaisen lämpölaajenemiskertoimen ja tärinänvaimennusominaisuuksien vuoksi), ja siinä on kaksi tehokasta lineaarimoottoriakselia ilmalaakeroiduilla ohjaimilla, jotka tuottavat ±0,5 μm:n toistotarkkuuden – ihanteellinen puolijohdetarkastuksiin, lasermikrologografiaan, tarkkuuslasermittaukseen ja metrologiaan. järjestelmät.

Suunniteltu käsittelemään alumiini- tai teräspohjaisten kaksiakselisten vaiheiden rajoituksia (lämpöliike, tärinä, alhainen jäykkyys), kaksiakselinen marmorinen lineaarimoottorimoduulimme eliminoi mekaanisen muodonmuutoksen nopeassa liikkeessä (jopa 2 m/s akselia kohti) ja säilyttää tasaisen tarkkuuden käyttölämpötiloissa (-10 ℃ - 40 ℃). X-Y-akselin synkroninen ohjausjärjestelmä (EtherCAT-pohjainen) mahdollistaa nanometritason liikkeen synkronoinnin, mikä on kriittistä erittäin tarkoissa prosesseissa, kuten 7nm:n sirupakkauksissa, mikro-optisten komponenttien valmistuksessa ja edistyneissä 3D-mittauksissa.

ISO 9001:2015 ja ISO 10110 optisten laatustandardien mukaisesti valmistettu kaksiakselinen marmorinen lineaarimoottorimoduuli sisältää suljetun kaapelinhallintajärjestelmän, antistaattisen pinnoitteen ja tyhjiöyhteensopivia lisävarusteita (puolijohteiden puhdastilakäyttöön). Yhteensopiva alan johtavien liikeohjainten (Aerotech, PI, Newport) ja metrologisten järjestelmien (Renishaw laserinterferometrit) kanssa, se integroituu saumattomasti erittäin tarkkoihin valmistuslinjoihin ja parantaa prosessin tuottoa jopa 20 % verrattuna perinteisiin metallipohjaisiin kaksiakselisiin vaiheisiin.

Tuotesarja

DT-GM-DX1-sarja (kompakti tarkkuus)

X-Y liikealue: 100 × 100 mm - 500 × 500 mm, ±0,5 μm:n toistotarkkuus, 1 m/s maksiminopeus akselia kohti. Ihanteellinen mikro-optisten komponenttien työstöön, tarkkuusmetrologiaan, pienimuotoiseen puolijohdepakkaukseen.

DT-GM-DX2-sarja (keskialueen nopea)

X-Y liikealue: 500×500mm - 1000×1000mm, ±1 μm toistotarkkuus, 2m/s maksiminopeus akselia kohti. Soveltuu lasermikrokoneistukseen, LCD-paneelien korjaukseen, keskikokoiseen optiseen tarkastukseen.

DT-GM-DX-VAC-sarja (tyhjiöyhteensopiva)

X-Y liikealue: 100 × 100 mm - 800 × 800 mm, toistotarkkuus ±0,5 μm, alipaineluokitus 10⁻⁶ mbar. Suunniteltu puolijohdepuhdistussovelluksiin, tyhjiöpinnoitukseen ja tilan simulointijärjestelmiin.

Keskeiset edut

1. 00-luokan graniittijalusta vertaansa vailla olevaan vakauteen

Valmistettu luonnollisesta 00-luokan graniitista (lämpölaajenemiskerroin ≤0,5×10⁻⁶/℃), jalusta tarjoaa poikkeuksellisen lämpöstabiilisuuden (≤0,001mm/℃) ja tärinänvaimennuksen (vaimentaa 80 % suurtaajuisista värähtelyistä). Tämä eliminoi lämpöryöminnän ja mekaanisen resonanssin – yleiset metallipohjaisten vaiheiden ongelmat – erittäin tarkoissa valmistusprosesseissa.

2. Sub-Micron Precision ilmalaakeroiduilla ohjaimilla

Integroidut ilmalaakeroidut lineaariohjaimet (perinteisten kuulalaakerien sijaan) eliminoivat kitkan ja kulumisen, mikä saavuttaa ±0,5 μm:n toistuvan paikannustarkkuuden ja 1 nm:n resoluution (Renishawin absoluuttianturien kautta). Kosketukseton muotoilu varmistaa huoltovapaan toiminnan yli 100 miljoonan syklin ajan, mikä on kriittistä suuren volyymin ultratarkkuustuotannossa.

3. X-Y Axis Synchronous Motion Control

EtherCAT-pohjainen reaaliaikainen liikkeenohjaus mahdollistaa nanometritason synkronoinnin X- ja Y-akselien välillä (synkronointivirhe ≤50nm) ja tukee monimutkaisia ​​liikeprofiileja (ympyräinterpolointi, spiraaliskannaus), joita tarvitaan lasermikrokoneistukseen ja optiseen kuviointiin. Avoin arkkitehtuuri on yhteensopiva kolmannen osapuolen liikeohjelmiston (LabVIEW, MATLAB) kanssa.

4. Korkea jäykkyys ja alhainen muodonmuutos

Vahvistettu graniittirakenne integroidulla ripauksella tarjoaa jäykkyyden ≥300N/μm, minimoiden taipuman dynaamisissa kuormissa (jopa 50 kg per akseli). Tämä vakaus varmistaa tasaisen tarkkuuden jopa nopean kiihdytyksen aikana (1g), mikä vähentää prosessin vaihtelua ja parantaa tuotteen saantoa.

5. Muokattavissa erittäin tarkkoja sovelluksia varten

Täysi räätälöinti matka-alueelle (100 × 100 mm - 1000 × 1000 mm), kooderin resoluutio (1 nm - 1 μm), tyhjiöyhteensopivuus (10⁻³ - 10⁻⁶ mbar) ja pinnan viimeistely (Ra ≤0,02 μm). Valinnaisia ​​ominaisuuksia ovat antistaattinen pinnoite, puhdastila-yhteensopivat materiaalit ja integroitu laserinterferometria in situ -kalibrointia varten.

6. Teollisuusluokan luotettavuus puhdastilakäyttöön

IP67-suojausluokka (standardi) / IP68 (tyhjiöversio), antistaattinen pinnoite (10⁶-10⁹ Ω/sq) ja alhainen hiukkaspäästö (Class 1 puhdastila-yhteensopiva) tekevät siitä sopivan puolijohdekankaille ja optisten valmistusten puhdastiloihin. MTBF ≥40 000 tuntia jatkuvassa käytössä, mikä vähentää kokonaiskustannuksia (TCO) 30 % viiden vuoden aikana.

Tekniset tiedot

Graniittipohja (00-luokka) ±0,5 μm Toistuvan paikannustarkkuusX-Y-akselin synkronisen liikkeen lämpövakaus (≤0,001 mm/℃) Korkea jäykkyys (≥300 N/μm)

Sovellusskenaariot

Deaoten kaksiakseliset marmoriset lineaarimoottorimoduulit on suunniteltu erittäin tarkkaan valmistukseen maailmanlaajuisilla korkean teknologian aloilla:

● Puolijohde ja mikroelektroniikka: 7nm/5nm sirupakkaus, kiekkojen tarkastus, litografian kohdistus, MEMS-laitteiden valmistus

● Optinen valmistus: mikro-optisten komponenttien työstö (linssit, prismat), valokuitujärjestelmän kokoonpano, lasialustojen laserkuviointi

● Tarkkuusmetrologia: 3D-optinen mittaus, koordinaattimittauskoneen (CMM) liikevaiheet, nanometritason pinnan profilointi

● Lasermikrotyöstö: laserablaatio, mikroporaus, kovien materiaalien (pii, safiiri, keramiikka) tarkkuuskaiverrus

● Ilmailu ja puolustus: mikro-anturien valmistus, inertianavigointikomponenttien kalibrointi, satelliittioptisten järjestelmien kokoonpano

Tietoja Deaotesta

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. on johtava korkean teknologian yritys, joka on erikoistunut erittäin tarkkojen liikekomponenttien tutkimukseen ja kehitykseen, valmistukseen ja myyntiin – keskittyen graniittipohjaisiin lineaarimoottorimoduuleihin maailmanlaajuisille puolijohde-, optiikka- ja ilmailumarkkinoille. Yli 15 vuoden kokemuksella tarkkuusmuottien ja erittäin tarkkojen liikejärjestelmien suunnittelusta palvelemme asiakkaita kaikkialla Euroopassa, Pohjois-Amerikassa, Japanissa ja Koreassa huippuluokan valmistussektoreilla.

Kaksiakseliset marmoriset lineaarimoottorimoduulimme on kehitetty erityisessä äärimmäisen tarkkuuden liikkeen tutkimus- ja kehityslaboratoriossa, jossa hyödynnetään edistynyttä graniittityöstöä (toleranssi ±0,001 mm), laserkalibrointia ja ilmalaakereiden kokoonpanotekniikoita alle mikronin tarkkuuden saavuttamiseksi. Tarjoamme kokonaisvaltaisia ​​räätälöintipalveluita – moduulien suunnittelusta ja prototyyppien valmistuksesta paikan päällä tapahtuvaan kalibrointiin ja maailmanlaajuiseen tekniseen tukeen – varmistaaksemme, että ratkaisumme täyttävät erittäin tarkkojen valmistuslinjojen ainutlaatuiset vaatimukset.

Deaote on sitoutunut "tarkkuuteen nanometritasolla, vakautta koko eliniän ajan" ja sijoittaa 20 % vuotuisista liikevaihdostaan ​​tutkimukseen ja kehitykseen kehittääkseen seuraavan sukupolven erittäin tarkkoja liikeratkaisuja. ISO 9001:2015- ja ISO 10110 -sertifioitu tuotantolaitoksemme ja maailmanlaajuinen palveluverkostomme takaavat nopeat vasteajat (≤48 tuntia) ja paikallisen teknisen tuen, mikä tekee meistä luotettavan kumppanin huipputarkkuuslaitteiden valmistajille maailmanlaajuisesti.